利用光的干涉检测平整度的原理

利用光的干涉检测平整度的原理

检测平整度用的是空气劈尖干涉原理。

当光垂直入射时，在工件的上表面和玻璃板的下表面反射的光相干涉，当光波的光程差为波长的整数倍时，形成明条纹，为半波长的奇数倍时，形成暗条纹。而光程差取决于空气层的厚度，空气层厚度相同的位置明暗纹情况相同，若工件不平整，则条纹会凸起，向左向右都有可能，关键是看不平整的地方是凸起还是凹陷。

手压玻璃板时，空气层厚度改变，会使得条纹移动。例如左凸的原因是工件表面有凹陷(凸起)，凹陷(凸起)处空气层厚度和其左边工件平面上的空气厚度相同，所以条纹向左凸。

高中 物理 几何光学 使用薄膜干涉检测物体平面是否光滑 的干涉条纹提前或延后的原理 最好使用图解加文字

干涉法检查平整度中凹凸情况的两种判定方法：

1．基本方法
如图甲所示，两板之间形成一层空气膜，用单色光从上向下照射，入射光从空气膜的上下表面反射出两列光波，形成干涉条纹。如果被检查平面是光滑的，得到的干涉图样必是等间距的。如果某处凹下去，则对应亮纹(或暗纹)提前出现，如图乙所示；如果某处凸起来，则对应条纹延后出现，如图丙所示。(注：“提前”与
“延后”不是指在时间上，而是指由左向右的位置顺序上)
2．旋转法
这是一种方便快捷地判定被检查平面上是凸起还是凹陷的经验性方法，而不是能从定理或定律推导得出的理论结果。具体方法是将干涉图样及装置一起在纸面内旋转90。。旋转方向是使装置的劈形空气膜劈尖向下，即装置成“V”字形。如在图甲中需逆时针转过90。，此时干涉条纹成水平状态，其上条纹弯曲处的凸起与凹下情况与被检查平面凸、凹情况一致。如在图中，逆时针旋过90。后，乙图中条纹凹陷，丙图中条纹凸起，说明对应于乙图的被检查平面上有凹下的地方，对应于丙图的有凸起处。

大学物理-牛顿环……如何用等厚干涉原理检验光学平面的表面平整度，干涉条纹中心是亮纹？

用等厚干涉原理检验光学平面的表面平整度，一般都是选用尖劈干涉。
如果是牛顿环，方法类似，就是看条纹是不是对称，是不是圆周，如果是，就是平整的，如果不是，就不是平整的。
中心不一定是亮纹，也不一定是暗纹，要看两块板是否接触，以及距离是多少。

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